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產(chǎn)品及解決方案

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Mars 4400
產(chǎn)品描述：
SiC晶圓腐蝕后的位錯檢測設(shè)備。設(shè)備采用微分干涉相差的光學(xué)顯微成像技術(shù)，可進(jìn)行全片掃描并采集完整數(shù)據(jù)，計(jì)算并自動統(tǒng)計(jì)位錯數(shù)量與密度，生成位錯密度圖。
產(chǎn)品參數(shù)：
應(yīng)用范圍：SiC襯底切割片、研磨片、拋光片的位錯檢測分析(經(jīng)KOH腐蝕)
可測晶片尺寸：標(biāo)準(zhǔn)4,6,8英寸及其它非標(biāo)尺寸
聯(lián)系方式：
郵箱地址：service@zdkfh-ie.com
聯(lián)系電話：0351-6525757

解決方案

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