2023年12月14日，“2023行家極光獎(jiǎng)”頒獎(jiǎng)典禮在深圳舉行，數(shù)百家SiC&GaN企業(yè)代表聯(lián)袂而來，共同見證第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的風(fēng)采。經(jīng)過行業(yè)專家評(píng)委認(rèn)真遴選評(píng)比，中電科風(fēng)華公司獲得大會(huì)“第三代半導(dǎo)體年度設(shè)備企業(yè)獎(jiǎng)”。該獎(jiǎng)項(xiàng)主要授予在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域擁有一定聲望，取得重要成績(jī)，技術(shù)達(dá)到行業(yè)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)水平，在推動(dòng)行業(yè)發(fā)展、技術(shù)創(chuàng)新和市場(chǎng)推廣等方面做出優(yōu)異成績(jī)或起到引領(lǐng)作用的企業(yè)。
中電科風(fēng)華公司產(chǎn)品，Mars系列晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備是第三代半導(dǎo)體材料生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵設(shè)備，用于對(duì)碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測(cè)。研發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有多年半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，掌握明場(chǎng)、暗場(chǎng)、光致發(fā)光等光學(xué)檢測(cè)技術(shù)。該系列設(shè)備現(xiàn)已在國(guó)內(nèi)多家頭部襯底、外延、芯片生產(chǎn)企業(yè)上線使用。
未來，風(fēng)華公司將持續(xù)技術(shù)攻關(guān)，致力于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化、國(guó)產(chǎn)化建設(shè)，為我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展保駕護(hù)航！
