2023年8月24-25日，CSIF2023第三代半導體材料制造與裝備技術高峰論壇在無錫舉行。此次展會以“國產替代，降本增效”為主題，匯集近400家SiC從業(yè)企業(yè)參加。中電科風華公司攜Mars 4410 SiC晶圓缺陷檢測工藝設備解決方案亮相論壇。
該設備一經亮相，吸引了眾多專業(yè)人士的關注和交流，顯示出行業(yè)對缺陷檢測設備的迫切需求，總經理吳洪坤受邀出席此次論壇的高層閉門會議，與眾多行業(yè)知名企業(yè)家共同探討SiC產業(yè)的前景和發(fā)展方向。
近年來，風華公司不斷攻克SiC晶圓檢測技術，已具備量產能力和工程化應用水平，公司與國內多家知名襯底、外延廠商達成合作。該設備具有多場景通用，缺陷與器件良率關聯(lián)，完全自主知識產權，零部件國產化等性能優(yōu)勢，技術已通過反復研究與論證。
